一种具有中阶梯光栅的扫描型光谱仪器

摘要

本发明提供了一种具有中阶梯光栅的扫描型光谱仪器，属于扫描型光谱仪器技术领域。本发明入射光经第一凹面反光镜聚焦反射，经第一平面反光镜反射，在第一狭缝处聚焦；入射光经第一狭缝进入第一分光器，经第二平面反光镜反射到凹面光栅，凹面光栅通过旋转，进行波长选择、反射聚焦到第二狭缝；入射光经第二狭缝进入第二分光器，经第二凹面反光镜反射汇聚成平行光到中阶梯光栅，中阶梯光栅通过旋转，进行级次选择、反射到第三凹面反光镜，经第三凹面反光镜反射聚焦到出射狭缝。本发明将中阶梯光栅作为主分光元件，通过高级次光谱实现较高的光谱色散和理想的光学分辨率。使用中阶梯光栅能够把分光器设计的很小。

主权项

一种具有中阶梯光栅的扫描型光谱仪器，其特征在于，包括：外光路、第一分光器和第二分光器；所述外光路包括第一凹面反光镜(2)、第一平面反光镜(3)和第一狭缝(4)，入射光经第一凹面反光镜(2)聚焦反射，经第一平面反光镜(3)反射，在第一狭缝(4)处聚焦；所述第一分光器包括第二平面反光镜(5)、凹面光栅(6)和第二狭缝(7)，经过第一狭缝(4)的光进入第一分光器，经第二平面反光镜(5)反射到凹面光栅(6)，凹面光栅(6)通过旋转，进行波长选择、反射聚焦到第二狭缝(7)；所述第二分光器包括第二凹面反光镜(8)、中阶梯光栅(9)、第三凹面反光镜(10)和出射狭缝(11)，经过第二狭缝(7)的光进入第二分光器，经第二凹面反光镜(8)反射汇聚成平行光到中阶梯光栅(9)，中阶梯光栅(9)通过旋转，进行级次选择、反射到第三凹面反光镜(10)，经第三凹面反光镜(10)反射聚焦到出射狭缝(11)。