发明名称 一种制备铜锡硫薄膜太阳能电池吸收层的方法
摘要 本发明公开了一种制备铜锡硫薄膜太阳能电池吸收层方法,该方法将高纯度的水溶性金属盐和硫源溶于去离子水中,分别放在不同的超声雾化罐中,通过一步超声雾化热解结合原位退火法,无需后续硫化就可以得到高质量的太阳能电池吸收层薄膜。本发明提高了前驱体溶液的稳定性,减少硫源的使用量,精确控制金属离子比例,实现高质量的铜锡硫半导体薄膜的制备。
申请公布号 CN105355720B 申请公布日期 2017.02.01
申请号 CN201510876402.2 申请日期 2015.12.03
申请人 华东师范大学 发明人 郭一欣;江锦春;程文娟;石富文;左少华;褚君浩
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 代理人 徐筱梅;张翔
主权项 一种铜锡硫薄膜太阳能电池吸收层的制备方法,其特征在于该方法包括以下具体步骤:a)衬底的选择和清洗采用镀有FTO导电薄膜的钠钙玻璃作为衬底;衬底采用乙醇、丙酮和去离子水超声处理20分钟,然后用氮气吹干备用;b)金属盐前躯液的配置首先,取水溶性锡盐溶入去离子水中,配制成浓度为0.01~0.2M/L的溶液;其次,按照Cu/Sn摩尔比1~3:1称取固体水溶性铜盐加入到配制好的锡盐溶液中,然后,将溶液放置在恒温磁力搅拌器上搅拌0.5h,得到稳定的金属盐前躯液,备用;c)硫脲前躯液的配置取固体硫脲,溶入去离子水中,配制成浓度为0.01~1M/L的溶液;将配制好的溶液放置在恒温磁力搅拌器上搅拌0.5h,得到稳定、澄清的硫脲前躯液,备用;d)喷涂将配置好的金属盐前躯液及硫脲前躯液分别置于两个雾化罐中,衬底置于雾化喷涂装置的喷涂腔中,雾化喷涂装置对衬底进行雾化喷涂沉积,沉积结束后,关闭金属盐前躯液雾化罐,保持衬底温度不变,在硫脲雾汽中原位退火10~30min,在衬底上得到所述铜锡硫薄膜;其中:所述雾化喷涂装置包括加热台、雾化罐、喷涂腔及加热控制器,加热台能够旋转,喷涂腔罩于加热台之上,雾化罐为两个、对称设于加热台两侧,雾化罐的喷口伸入喷涂腔,加热控制器通过电连接,控制对加热台的加热。
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