衬底处理设备

摘要

本发明提供一种衬底处理设备，且更确切地说，提供一种可以在多个衬底上独立地执行工艺的批量型衬底处理设备。所述衬底处理设备包含包括多个分割板及多个连接杆的衬底舟、内部反应管、气体供应单元及排气单元，且将多个衬底加载成与所述分割板分开。

主权项

一种衬底处理设备，其特征在于，包括：衬底舟，其包含多个分割板及连接所述分割板的多个连接杆，多个所述分割板形成多个衬底被加载在其中的多个加载空间，多个所述衬底在多个平台中被加载到多个所述加载空间中；内部反应管，在其中形成接纳所述衬底舟的接纳空间并且执行用于加载在所述衬底舟中的所述衬底的工艺；气体供应单元，其通过喷射嘴将含有原料气体及蚀刻气体的工艺气体供应到所述衬底；及排气单元，其通过对应于所述喷射嘴而提供的抽吸端口排放所述内部反应管内部的工艺残余物，其中所述衬底被加载成与所述分割板分开。