- NEGATIVE-TONE RESIST COMPOSITIONS AND MULTIFUNCTIONAL POLYMERS THEREIN

摘要

자유 광산-발생기, 및 광산-발생 모이어티에 공유 결합된 다기능 폴리머를 함유하고, 가교제들을 포함하지 않는, 네거티브-톤 레지스트 조성물이 제공된다. 상기 레지스트 조성물과 함께 유용한 다기능 폴리머들이 또한 제공되고, 본 발명의 조성물들 및 폴리머들을 이용하여 기판상에 레지스트 이미지를 생성하는 프로세스도 제공된다.