一种石墨烯气体传感器及其制备方法

摘要

本发明实施例公开了一种石墨烯气体传感器及其制备方法。该方法首先在衬底上依次沉积牺牲层和应变薄膜，接着，直接在应变薄膜上制备石墨烯层或将已制备好的石墨烯层转移至应变薄膜上，通过光刻和腐蚀形成台面，同时将牺牲层暴露出来；然后在石墨烯层上继续沉积金属电极；最后，侧向腐蚀掉牺牲层，使得应变薄膜与衬底脱离自卷曲成管，从而得到附着在管内壁上的卷曲石墨烯气体传感器。该石墨烯气体传感器对多种气体分子都具有较高的灵敏度且为三维结构，器件尺寸小，制备方法简单，适于大批量、低成本制备。此外，直径可调控的管状结构不仅提供了待测气体的天然输运通道，还可与其它片上微纳功能单元集成构筑芯片实验室。

主权项

一种以自卷曲微米管或纳米管为载体的石墨烯气体传感器，其特征在于，传感器由应变薄膜自卷曲形成的微米管或纳米管与带有正负金属电极的石墨烯层共同组成，石墨烯层附着在微米管或纳米管的内壁上，管的外部留有金属电极，待测气体由管的一端注入，从管的另外一端排出。