一种用于干刻设备的导航片及导航方法

摘要

本发明公开了一种用于干刻设备的导航片及导航方法。所述干刻设备包括ESC底座和一承载硅片的承载圈，所述ESC底座上设置有同心的第一参考圆和第二参考圆，所述导航片为一透明圆片，所述导航片的直径小于等于所述承载圈的内圈直径，在所述导航片的多个径向方向上设置有刻度。采用上述导航片进行导航，能够更快地使机械手将导航片或者硅片放置到更准确的位置上，避免了因为硅片放置位置偏移而造成的刻蚀缺陷的发生。

主权项

一种用于干刻设备的导航片，所述干刻设备包括静电卡盘底座和一承载硅片的承载圈，所述静电卡盘底座上设置有同心的第一参考圆和第二参考圆，其特征在于，所述导航片为一透明圆片，所述导航片的直径小于等于所述承载圈的内圈直径，在所述导航片的多个径向方向上设置有刻度。