设备门和薄膜晶体管测试设备

摘要

本发明公开了一种设备门和薄膜晶体管测试设备，所述设备门用于封闭薄膜晶体管测试室，包括滑道结构和折页结构，所述滑道结构与所述薄膜晶体管测试室固定连接，所述滑道结构包括相对设置的第一滑道和第二滑道；所述折页结构包括多个折页，相邻折页之间通过转轴相互连接，所述折页的两端分别设置有滑道孔，所述第一滑道与所述第二滑道分别设置在对应的滑道孔之内，所述折页结构靠近前端的折页与所述滑道结构固定连接。本发明提供的技术方案通过折叠推拉方式进行设备门的开启和关闭，使得设备门不再占用薄膜晶体管测试室上方的空间，因此对薄膜晶体管进行测试时也就不再需要将显微镜移走，从而节省了测试时间。

主权项

一种设备门，用于封闭薄膜晶体管测试室，其特征在于，包括滑道结构和折页结构，所述滑道结构与所述薄膜晶体管测试室固定连接，所述滑道结构包括相对设置的第一滑道和第二滑道；所述折页结构包括多个折页，相邻折页之间通过转轴相互连接，所述折页的两端分别设置有滑道孔，所述第一滑道与所述第二滑道分别设置在对应的滑道孔之内，所述折页结构靠近前端的折页与所述滑道结构固定连接。