发明名称 ドリフト領域の下にキャビティを備えるDMOSトランジスタ
摘要 A lateral DMOS transistor formed on a silicon-on-insulator (SOI) structure has a higher breakdown voltage that results from a cavity that is formed in the bulk region of the SOI structure. The cavity exposes a portion of the bottom surface of the insulator layer of the SOI structure that lies directly vertically below the drift region of the DMOS transistor.
申请公布号 JP6073862(B2) 申请公布日期 2017.02.01
申请号 JP20140508559 申请日期 2012.04.26
申请人 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社;テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド 发明人 ウィリアム フレンチ;ウラディスラフ ヴァシチェンコ;リチャード ウェンデル フート;アレクセイ サドブニコフ;プニ ボラ;ピーター ジェイ ホッパー
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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