| 摘要 |
본 발명은 멤스 마이크로폰 패키지를 개시한다. 본 발명에 따른 멤스 마이크로폰은, 일측에 수평면과 수직면을 포함하는 단차부가 형성된 기판; 단차부의 수직면에 형성된 백플레이트; 하단은 단차부의 수평면에 고정되고 상단은 자유단이며, 백플레이트와 나란히 배치된 멤브레인을 포함한다. 본 발명에 따르면, 종래에 비하여 간단한 방법으로 멤스 마이크로폰을 제조할 수 있고, 또한 보다 간단한 방법으로 하나의 멤스 마이크로폰에 다수 쌍의 멤브레인과 백플레이트를 구현함으로써 고감도, 고신뢰도의 신호를 얻을 수 있다. 또한 멤브레인의 진동폭을 종래보다 향상시킴으로써 높은 감도를 구현할 수 있다. |
