具有电感性传感器的加速度计

摘要

本公开涉及具有电感性传感器的加速度计。如本文公开的加速度计包括支撑晶片、底部晶片、顶部晶片和电感性传感器。支撑晶片可以限定平面并可以包括第一侧、第二侧和检测质量块。检测质量块可以配置为在由支撑晶片限定的平面中移动。底部晶片可以包括第一侧和第二侧，并且第一侧可以位于支撑晶片的第一侧之上。顶部晶片可以包括第一侧和第二侧，并且第一侧可以位于支撑晶片的第二侧之上。电感性传感器可以包括近场谐振导电耦合机构并可以配置为输出指示检测质量块的位移的量的信号到电子器件。

主权项

一种加速度计，其包括：支撑晶片，其限定平面并包括检测质量块，其中所述检测质量块被配置为在由所述支撑晶片限定的平面中移动；底部晶片，其中所述底部晶片的第一侧位于所述支撑晶片的第一侧之上；顶部晶片，其中所述顶部晶片的第一侧位于所述支撑晶片的第二侧之上；和电感性传感器，其中所述电感性传感器包括近场谐振电感性耦合机构并被配置为输出信号到电子器件，并且其中所述信号指示所述检测质量块的位移的量。