| 发明名称 |
薄膜圧電素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ハードディスクドライブおよびインクジェットプリンタ装置 |
| 摘要 |
A thin film piezoelectric device according to the present invention includes a potassium sodium niobate-based piezoelectric thin film having an average crystal grain diameter of 60 nm or more and 90 nm or less, and a pair of electrode films configured to hold the piezoelectric thin film therebetween. |
| 申请公布号 |
JP6070843(B2) |
申请公布日期 |
2017.02.01 |
| 申请号 |
JP20150527036 |
申请日期 |
2013.08.30 |
| 申请人 |
ＴＤＫ株式会社 |
发明人 |
前島 和彦;倉知 克行;佐久間 仁志;會田 康弘;田中 美知 |
| 分类号 |
H01L41/187;B41J2/14;G01C19/56;G11B21/10;G11B21/21;H01L41/09;H01L41/113;H02N2/00 |
主分类号 |
H01L41/187 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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