一种等离子体处理装置

摘要

本发明提供了一种等离子体处理装置，该装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在外壳内的反应室，电极部件设置于反应室内并与电源连接，震动模块设置于反应室内，震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，驱动电机的圆盘上设置有两个凸点，凹点与凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时，使震动模块在弹簧的反作用力下形成均匀震动。本发明中电极部件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动模块震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。

主权项

一种等离子体处理装置，其特征在于，所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室，所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接，所述震动模块设置于所述反应室内，所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点，所述凹点与所述凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时，使所述震动模块在所述弹簧的反作用力下形成均匀震动。