一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路

摘要

本发明公开了一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路，包括半导体参数分析仪、脉冲源、探针平台和双通道示波器，半导体参数分析仪作为控制平台，同时连接于探针台和脉冲源，并通过配置脉冲源参数控制脉冲源的波形；示波器是当脉冲源向待测RRAM器件发出脉冲时，捕获脉冲图形；示波器具有第一通道和第二通道，第一通道具有第一内阻R1，第二通道具有第二内阻R2，待测RRAM器件与示波器第二通道的第二内阻R2串联，脉冲源与待测RRAM器件连接，示波器的第一通道并联连接于待测RRAM器件与第二内阻R2的串联支路。利用本发明，解决了RRAM器件在脉冲测试过程中不能限流的问题，使RRAM器件在脉冲测试时得到稳定的脉冲测试电压，而不会因编程或擦除后影响整个电路的稳定。

主权项

一种对RRAM器件的脉冲参数进行测试的电路，其特征在于，该电路包括半导体参数分析仪、脉冲源、探针平台和双通道示波器，其中：半导体参数分析仪作为控制平台，同时连接于探针台和脉冲源，并通过配置脉冲源参数控制脉冲源的波形；示波器是当脉冲源向待测RRAM器件发出脉冲时，捕获脉冲图形；示波器具有第一通道和第二通道，第一通道具有第一内阻R1，第二通道具有第二内阻R2，待测RRAM器件与示波器第一通道的第一内阻R1串联，脉冲源与待测RRAM器件连接，示波器的第二通道并联连接于待测RRAM器件与第一内阻R1的串联支路；其中，所述示波器的第一通道，选择该通道内阻为50Ω，由于待测RRAM器件电阻远远大于50Ω，所以串联后的电阻只考虑待测RRAM器件的电阻；或者，所述示波器的第二通道，选择该通道内阻为50Ω，由于待测RRAM器件电阻远远大于50Ω，所以并联后的电阻为50Ω；由于脉冲源内阻R为50Ω，用户需要为脉冲源匹配一个阻值，该匹配阻值为定值；匹配阻值设定好之后，脉冲源内阻R需要分得一部分电压；脉冲源经过内部计算，得出脉冲源实际发出的脉冲幅度。