一种离子注入机的引出电极驱动装置

摘要

本发明公开了一种离子注入机的引出电极驱动装置，包括由第一伺服电机和第一带轮组件组成的齿轮驱动机构，以及第二伺服电机和第二带轮组件组成的滚珠丝杠螺母副驱动机构；所述齿轮驱动机构的带轮旋转轴上固定有少齿宽面小齿轮，滚珠丝杠螺母副驱动机构的带轮旋转轴上固定有滚珠丝杠螺母副，该滚珠丝杠螺母副的螺母固定连接有多齿窄面大齿轮，且该多齿窄面大齿轮与少齿宽面小齿轮啮合，二者均为直齿；同时，多齿窄面大齿轮中心孔内装配有电极连接轴，电极连接轴末端固定有引出电极。该驱动装置可实现引出电极的轴向伸缩和旋转联动，具有调节速度快，且能够方便调整引出电极旋转角度的优点。

主权项

一种离子注入机的引出电极驱动装置，其特征在于：包括由第一伺服电机和第一带轮组件组成的齿轮驱动机构，以及第二伺服电机和第二带轮组件组成的滚珠丝杠螺母副驱动机构；所述齿轮驱动机构的带轮旋转轴上固定有小齿轮，滚珠丝杠螺母副驱动机构的带轮旋转轴上固定有滚珠丝杠螺母副，该滚珠丝杠螺母副的螺母固定连接有大齿轮，且该大齿轮与小齿轮啮合，二者均为直齿,小齿轮的齿宽大于大齿轮的齿宽；同时，大齿轮中心孔内装配有电极连接轴，电极连接轴末端固定有引出电极；所述电极连接轴上装配有对电极连接轴起导向作用的导套；大齿轮沿小齿轮的齿面直线移动，并带动与大齿轮连接的电极连接轴，使其在导套内滑动，实现引出电极的轴向伸缩；大齿轮旋转进而带动电极连接轴实现引出电极的旋转。