| 发明名称 | 显微镜载片台 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种显微镜载片台，涉及半导体芯片生产制造领域；主要包括载片台(1)，其中载片台(1)上铣有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3)；载片台(1)四周通过防护板螺纹孔(7)与防护板固定；载片台(1)的两侧开有第一燕尾槽轨(8)，第一燕尾槽轨(8)和第一燕尾槽(13)滑动连接；第一燕尾槽架(9)两端的下底面与第二燕尾槽架(12)两端上顶面固定在一起；第二燕尾槽(14)和第二燕尾轨(17)滑动连接，第二燕尾轨(17)在第二燕尾槽轨架(16)上，第二燕尾槽轨架(16)固定在显微镜上；本发明能够有效防止由于载片台快速移动而造成的芯片滑落现象，从而提高产品成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN104821266B | 申请公布日期 | 2017.02.01 |
| 申请号 | CN201510230274.4 | 申请日期 | 2015.05.07 |
| 申请人 | 合肥彩虹蓝光科技有限公司 | 发明人 | 丁维才;冯靖;吴化胜 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人 | 汪守勇 |
| 主权项 | 一种显微镜载片台，包括载片台(1)，其特征在于：所述的载片台(1)上铣有第一芯片槽(2)和/或第二芯片槽(3)；所述的载片台(1)四周通过防护板螺纹孔(7)与防护板固定；所述载片台(1)的两侧开有第一燕尾槽轨(8)，第一燕尾槽架(9)上开有第一燕尾槽(13)；所述第一燕尾槽轨(8)和所述第一燕尾槽(13)滑动连接；所述的第一燕尾槽架(9)两端的下底面与第二燕尾槽架(12)两端上顶面固定在一起；所述第二燕尾槽架(12)上开有第二燕尾槽(14)；所述第二燕尾槽(14)和第二燕尾轨(17)滑动连接，所述第二燕尾轨(17)在第二燕尾槽轨架(16)上，第二燕尾槽轨架(16)固定在显微镜上。 | ||
| 地址 | 230012 安徽省合肥市新站区工业园内 | ||