一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法

摘要

一种基于聚合物的流量传感器及其制备方法，属于流量传感器技术领域。自下而上依次为支撑层、柔性衬底、薄膜电阻层、柔性覆盖层，所述薄膜电阻层包括加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻，所述支撑层面向柔性衬底的一面开有凹槽，凹槽位于加热电阻、下风向测量电阻和上风向测量电阻的正下方。本发明流量传感器采用柔性衬底作为载体，通过位于衬底下方的带凹槽的支撑层减小热传导，柔性衬底作为流量传感器的载体，可有效提高传感器表面薄膜结构的强度，不易破碎塌陷，且耐低温、耐酸，大大提高了流量传感器的适用范围；本发明流量传感器采用聚合物支撑层代替传统的硅基板，省略了氮化硅的生长与刻蚀等过程，减小了工艺难度和成本。

主权项

一种基于聚合物的流量传感器，自下而上依次为支撑层(4)、柔性衬底(3)、薄膜电阻层(2)、柔性覆盖层(1)，所述薄膜电阻层(2)包括加热电阻(5)、下风向测量电阻(6)和上风向测量电阻(7)，所述支撑层(4)面向柔性衬底的一面开有凹槽，凹槽位于加热电阻(5)、下风向测量电阻(6)和上风向测量电阻(7)的正下方。