发明名称 阵列基板、液晶显示面板以及制造方法
摘要 本发明公开了一种阵列基板、液晶显示面板以及制造方法,该阵列基板包括:将数据线层和遮光层设计在同一层,而且,将源极层、漏极层、氧化物半导体材料层以及公共电极层设计在同一层中,且源极层、漏极层以及公共电极层是通过对氧化物半导体材料经过掺杂处理而形成,提高其导电率的方式来实现源极层、漏极层、公共电极层的材料能够导电。通过上述方式,本发明能够极大地减少制程中的光罩数目,进而使得生产成本大大降低。
申请公布号 CN106371253A 申请公布日期 2017.02.01
申请号 CN201610742677.1 申请日期 2016.08.26
申请人 武汉华星光电技术有限公司 发明人 谢应涛
分类号 G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I 主分类号 G02F1/1362(2006.01)I
代理机构 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人 李庆波
主权项 一种阵列基板,其特征在于,包括:基板;数据线层和遮光层,位于同一层中,且分别间隔地形成在所述基板上,所述遮光层和所述数据线层的材料均为金属材料;第一绝缘层,覆盖在所述基板、所述数据线层和所述遮光层上;源极层、漏极层、氧化物半导体材料层以及公共电极层,分别形成在所述第一绝缘层上,其中,所述源极层和所述漏极层紧邻并位于所述氧化物半导体材料层的两端,所述公共电极层与所述漏极层间隔设置,所述源极层、所述漏极层以及所述公共电极层通过对氧化物半导体材料经过掺杂处理而形成,所述氧化物半导体材料层在所述遮光层的遮光作用下,能够完全避免受到光线的影响;第二绝缘层,覆盖在所述氧化物半导体材料层上;栅极层,形成在所述第二绝缘层上,其材料为金属材料;绝缘的互联层,覆盖在所述第一绝缘层、所述源极层、所述栅极层、所述漏极层以及所述公共电极层上,且在所述互联层中分别形成贯穿所述互联层的第一接触孔、第二接触孔以及第三接触孔,所述第一接触孔的一端延伸并贯穿所述第一绝缘层,与所述数据线层连接,所述第二接触孔的一端与所述源极层连接,所述第三接触孔的一端与所述漏极层连接,其中所述第一接触孔、第二接触孔以及第三接触孔中填充的材料为透明电极材料;透明电极材料层和像素电极层,其分别间隔形成在所述互联层上,其材料均为透明电极材料,其中,所述透明电极材料层分别与所述第一接触孔的另一端和所述第二接触孔的另一端相连,从而使所述源极层通过所述第二接触孔、所述透明电极材料层和所述第一接触孔而电性连接至所述数据线层,所述像素电极层与所述第三接触孔的另一端相连,以实现所述像素电极层与所述漏极层之间的电性连接。
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