发明名称 一种纳米银复合氧化锡透明导电薄膜的制备方法
摘要 本发明涉及一种纳米银复合氧化锡透明导电薄膜的制备方法,在溶胶‑凝胶法制备的氧化锡导电薄膜孔隙中填充可溶性银盐和亚锡盐,原位还原生成纳米银粒子,高温烧结得到纳米银复合氧化锡透明导电薄膜,纳米银复合氧化锡透明导电薄膜的化学组成为:Ag<sub>x</sub>SnO<sub>2‑y</sub>F<sub>y</sub>,分子式中,x=0.01‑0.1,y=0‑0.6,采取的技术方案包括在太阳电池玻璃基体上涂覆二氧化硅过渡层、掺氟氧化锡纳米溶胶制备、掺氟氧化锡凝胶薄膜制备、多孔氧化锡凝胶薄膜孔隙填充、纳米银复合氧化锡透明导电薄膜形成五部分。本发明是降低FTO导电薄膜电阻简便易行的技术措施,具有产业化应用前景。
申请公布号 CN106374010A 申请公布日期 2017.02.01
申请号 CN201610877043.7 申请日期 2016.10.09
申请人 天津市职业大学 发明人 刘炳光;李建生;王少杰;刘希东;马德胜;韩秋坡;田磊
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种纳米银复合氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征是在溶胶‑凝胶法制备的氧化锡导电薄膜孔隙中填充可溶性银盐和亚锡盐,原位还原生成纳米银粒子,高温烧结得到纳米银复合高透光率低方块电阻氧化锡透明导电薄膜,纳米银复合氧化锡透明导电薄膜的化学组成为:Ag<sub>x</sub>SnO<sub>2‑y</sub>F<sub>y </sub>,其中, x=0.01‑0.1,y =0‑0.6,采取的技术方案包括在太阳电池玻璃基体上涂覆二氧化硅过渡层、掺氟氧化锡纳米溶胶制备、掺氟氧化锡凝胶薄膜制备、多孔氧化锡凝胶薄膜孔隙填充、纳米银复合氧化锡透明导电薄膜形成五部分。
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