一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置

摘要

本发明公开了一种成本较低且能够形成较好绒面的多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置。该去除装置，包括支架、无头皮带、主动轮、从动轮，无头皮带绕过主动轮、从动轮并被主动轮和从动轮绷紧，无头皮带水平设置且在位于上层的无头皮带和位于下层的无头皮带之间设置有支撑平台，支撑平台的上表面为光滑的平面，所述位于上层的无头皮带与支撑平台的上表面相接触，所述支撑平台的上方设置有喷砂装置，利用该喷砂装置可以有效去除的多晶硅片表面金刚线切割损伤层，保证最后得到的硅片绒面均匀、反射率低，绒面质量较好，而且，该装置可以实现流水化作业，效率较高，可以大大降低多晶硅片的生产成本。适合在硅片加工技术领域推广应用。

主权项

一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置，其特征在于：包括支架(1)、无头皮带(2)、主动轮(3)、从动轮(4)，所述主动轮(3)、从动轮(4)通过轴承固定在支架(1)上，所述无头皮带(2)绕过主动轮(3)、从动轮(4)并被主动轮(3)和从动轮(4)绷紧，所述支架(1)上连接有用于驱动主动轮(3)转动的驱动电机(5)，所述无头皮带(2)水平设置且在位于上层的无头皮带(2)和位于下层的无头皮带(2)之间设置有支撑平台(6)，所述支撑平台(6)的通过支撑杆固定在支架(1)上，所述支撑平台(6)的上表面为光滑的平面，所述位于上层的无头皮带(2)与支撑平台(6)的上表面相接触，所述支撑平台(6)的两个端面为内凹的弧面，所述支撑平台(6)的上方设置有喷砂装置(7)，所述喷砂装置(7)包括导料管(701)、N个喷砂头(702)，N为偶数，所述导料管(701)的前端连接有料斗(703)，所述导料管(701)上连接气管(704)，所述气管(704)的一端连接有空气压缩机(705)，另一端为出气口且出气口与导料管(701)连通，所述气管(704)内的气体从出气口喷出时的方向与导料管(701)的中心轴线之间的夹角小于90°,所述气管(704)内气体的压力为0.05‑0.1个标准大气压，所述N个喷砂头(702)沿无头皮带(2)的移动方向依次设置，砂从喷砂头(702)喷出后喷在无头皮带(2)上的区域为喷砂区域，所述相邻的两个喷砂头(702)在无头皮带(2)上的喷射区域无缝连接；所述导料管(701)的末端连接有一个第一级喷砂管(706)，所述第一级喷砂管(706)的末端连接有两个第二级喷砂管(707)，一个第一级喷砂管(706)与两个第二级喷砂管(707)组成“人”字形结构，每个第二级喷砂管(707)末端连接有两个第三级喷砂管(708)，一个第二级喷砂管(707)与两个第三级喷砂管(708)组成“人”字形结构，依次类推，第三级喷砂管(708)的末端连接有第四级喷砂管(709)，第四级喷砂管(709)的末端连接有第五级喷砂管，…，第n‑1级喷砂管的末端连接有第n级喷砂管，n≥2，第n级喷砂管的数量与喷砂头(702)的数量相同，每个第n级喷砂管的末端都与一个喷砂头(702)相连，并且第n‑1级喷砂管的内径是第n级喷砂管内径的两倍；所述支架(1)上设置有用于输送硅片的多个输送滚轮(8)，相邻的输送滚轮(8)之间通过传动机构相连，靠近从动轮(4)的输送滚轮(8)与从动轮(4)之间通过传动机构相连，所述无头皮带(2)、多个输送滚轮(8)沿位于上层的无头皮带(2)的运行方向依次设置，且每个输送滚轮(8)的最高位置与位于上层的无头皮带(2)的上表面位于同一水平面，所述输送滚轮(8)的上方设置有两个限位滚轮(9)，两个限位滚轮(9)与下方的其中两个相邻的输送滚轮(8)一一对应，限位滚轮(9)与输送滚轮(8)之前的间隙宽度与硅片的厚度相匹配，两个限位滚轮(9)之间以及与两个限位滚轮(9)对应的输送滚轮(8)之间均设置有气刀发生装置(10)，所述气刀发生装置(10)产生的气刀吹向限位滚轮(9)与输送滚轮(8)之间的硅片。