发明名称 一种半导体器件封帽电极的修整装置
摘要 本实用新型涉及一种半导体器件封帽电极的修整装置。该装置包括底座、研磨盘、电极承载盘;电极承载盘的下侧面设置有电极孔;研磨盘转动设置在底座上,研磨盘与磨盘驱动装置连接;电极承载盘设置在研磨盘的上表面,电极承载盘通过支架设置在底座上,电极承载盘与支架转动连接。本实用新型所述半导体器件封帽电极的修整装置,实现对半导体器件封帽电极的批量研磨加工,大大提高了加工效率。
申请公布号 CN205915186U 申请公布日期 2017.02.01
申请号 CN201620862886.5 申请日期 2016.08.11
申请人 山东华光光电子股份有限公司 发明人 任忠祥;赵克宁;赵霞焱;徐现刚
分类号 B24B37/00(2012.01)I;B24B37/27(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I 主分类号 B24B37/00(2012.01)I
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人 杨树云
主权项 一种半导体器件封帽电极的修整装置,其特征在于,包括底座、研磨盘、电极承载盘和磨盘驱动装置;电极承载盘的下侧面设置有电极孔;研磨盘转动设置在底座上,研磨盘与磨盘驱动装置连接;电极承载盘设置在研磨盘的上表面,电极承载盘通过支架设置在底座上,电极承载盘与支架转动连接。
地址 250101 山东省济南市高新(历下)区天辰大街1835号