发明名称 |
一种半导体器件封帽电极的修整装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种半导体器件封帽电极的修整装置。该装置包括底座、研磨盘、电极承载盘;电极承载盘的下侧面设置有电极孔;研磨盘转动设置在底座上,研磨盘与磨盘驱动装置连接;电极承载盘设置在研磨盘的上表面,电极承载盘通过支架设置在底座上,电极承载盘与支架转动连接。本实用新型所述半导体器件封帽电极的修整装置,实现对半导体器件封帽电极的批量研磨加工,大大提高了加工效率。 |
申请公布号 |
CN205915186U |
申请公布日期 |
2017.02.01 |
申请号 |
CN201620862886.5 |
申请日期 |
2016.08.11 |
申请人 |
山东华光光电子股份有限公司 |
发明人 |
任忠祥;赵克宁;赵霞焱;徐现刚 |
分类号 |
B24B37/00(2012.01)I;B24B37/27(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I |
主分类号 |
B24B37/00(2012.01)I |
代理机构 |
济南金迪知识产权代理有限公司 37219 |
代理人 |
杨树云 |
主权项 |
一种半导体器件封帽电极的修整装置,其特征在于,包括底座、研磨盘、电极承载盘和磨盘驱动装置;电极承载盘的下侧面设置有电极孔;研磨盘转动设置在底座上,研磨盘与磨盘驱动装置连接;电极承载盘设置在研磨盘的上表面,电极承载盘通过支架设置在底座上,电极承载盘与支架转动连接。 |
地址 |
250101 山东省济南市高新(历下)区天辰大街1835号 |