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Bei einem bekannten Verdampfersystem zur Beschichtung eines in einer Beschichtungsebene bewegten, bandförmigen Substrats ist eine von einer Vielzahl von Induktionsverdampfern gebildete Verdampferbank vorgesehen, die jeweils einen Tiegel zur Aufnahme eines zu verdampfenden Beschichtungsmaterials und eine den Tiegel umgebende Induktions-Heizspule umfassen. Ein Hochfrequenzgenerator dient zur Einspeisung eines Heizwechselstroms in die Induktions-Heizspule, wodurch ein primäres elektromagnetisches Feld erzeugt wird, das durch induktive Einkopplung den Tiegel erhitzt. Eine Stelleinrichtung dient dazu, den Heizwechselstrom für jede der Heizspulen individuell einstellen zu können. Um eine hohe Gleichmäßigkeit und Fehlerfreiheit der aufgedampften Schicht reproduzierbar zu gewährleisten, wird eine Modifikation des bekannten Verdampfersystems vorgeschlagen, bei der dem oberen und/oder dem unteren Ende der Heizspule eine Induktions-Gegenwicklung zugeordnet ist, in die ein Gegenwechselstrom einspeisbar und dadurch ein sekundäres elektromagnetisches Feld erzeugbar ist, das das primäre elektromagnetische Feld teilweise neutralisiert. |
