固体薄膜纳米压痕连续测量仪

摘要

固体薄膜纳米压痕连续测量仪，包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置，所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板；所述的Z轴定位装置包括Z轴加载块、过渡板、滑台、加载块压箱、步进电机、丝杆；所述的显微镜瞄准装置包括显微镜本体、线圈磁铁驱动器、压针和用于探测压针位移的位移传感器，所述的压针与所述的线圈磁铁驱动器电连接。本发明的有益效果是：尤其适用于测量薄膜、镀层、微机电系统中的材料等微小体积材料力学性能；可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质。

主权项

固体薄膜纳米压痕连续测量仪，其特征在于：包括底座、水平气动定位装置、Z轴定位装置、显微镜瞄准装置，所述的水平气动定位装置包括气浮定位平台底座、兼做X轴气动定位平台的导轨、Y轴气动定位平台、电机轴座、电机、电机推杆、气浮滑块和顶板，所述的气浮定位平台底座固定在所述的底座上，所述的电机轴座和所述的导轨均安装在所述的气浮定位平台底座上；所述的气浮滑块与所导轨内侧贴合，并且每根导轨对应一个气浮滑块；所述的电机的输出轴通过电机推杆与电机轴连接；所述的顶板铺设在导轨上方，并且所述的顶板与电机轴固定；所述的顶板上安装Y轴气动定位平台；所述的Z轴定位装置包括Z轴加载块、过渡板、滑台、加载块压箱、步进电机、丝杆，所述的滑台下端安装在所述的底座上，所述的过渡板安装在所述的滑台上端的丝杆上，并且所述的丝杆与所述的步进电机的输出轴相连；所述的显微瞄准装置和所述的加载块压箱安装在所述的过渡板上，并且所述的显微瞄准装置的瞄准镜指向所述的水平气动定位装置；所述的Z轴加载块安装在所述的加载块压箱的加载块支撑体上；所述的显微镜瞄准装置安装在所述的加载块压箱的底部；所述的显微镜瞄准装置包括显微镜本体、线圈磁铁驱动器、压针和用于探测压针位移的位移传感器，所述的压针与所述的线圈磁铁驱动器电连接；所述的气浮滑块设有供气孔道和节流孔，并且所述的供气孔道的一端与外界的气泵连通；与供气孔道另一端连通的所述的节流孔的出气口面向导轨和气浮定位平台底座的方向；所述的导轨为倒L形，所述的气浮滑块为与导轨匹配的正L形；所述的显微镜本体底部装有用于竖直定位的支撑弹簧，所述的支撑弹簧套在所述的压针下端，并且所述的压针的压头伸出所述的支撑弹簧；所述的位移传感器为电容式位移传感器；所述的气浮滑块与导轨、底座的相对面形成的气膜厚度为10μm。