真空设备及其磁流体密封传动装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空设备的磁流体密封传动装置，包括用于密封连接真空设备的壳体、用于传输动力的轴套和用于产生磁场的磁体，壳体上设置有用于轴套穿过的通孔，轴套和壳体之间安装有轴承，轴承的内圈连接轴套的外周，轴承的外圈连接通孔的内周，壳体和轴套之间设置有用于放置磁流体的间隙，磁体两极的端面分别靠近能够导磁的轴套和壳体，使轴套和壳体之间形成封闭的磁回路，磁流体位于间隙内的磁回路处并围绕轴套，用于隔绝真空环境和大气环境。使上述传动装置能够适用于狭小的安装空间以及超高真空环境，提高适用性。本实用新型还公开了一种包括上述磁流体密封传动装置的真空设备。

主权项

一种用于真空设备的磁流体密封传动装置，包括用于密封连接真空设备的壳体(4)、用于传输动力的轴套(2)和用于产生磁场的磁体(6)，其特征在于，所述壳体(4)上设置有用于所述轴套(2)穿过的通孔，所述轴套(2)和所述壳体(4)之间安装有轴承(3)，所述轴承(3)的内圈连接所述轴套(2)的外周，所述轴承(3)的外圈连接所述通孔的内周，所述壳体(4)和所述轴套(2)之间设置有用于放置磁流体(8)的间隙，所述磁体(6)两极的端面分别靠近能够导磁的所述轴套(2)和所述壳体(4)，使所述轴套(2)和所述壳体(4)之间形成封闭的磁回路，所述磁流体(8)位于所述间隙内的所述磁回路处并围绕所述轴套(2)，用于隔绝真空环境和大气环境。