发明名称 |
一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置 |
摘要 |
本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置,该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测;对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试,并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试,检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性,得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。 |
申请公布号 |
CN106370958A |
申请公布日期 |
2017.02.01 |
申请号 |
CN201610934313.3 |
申请日期 |
2016.10.25 |
申请人 |
北京大学深圳研究生院 |
发明人 |
刘念;缪旻;金玉丰 |
分类号 |
G01R31/00(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N29/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/00(2006.01)I |
代理机构 |
深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 |
代理人 |
郭燕 |
主权项 |
一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法,其特征在于,所述方法包括:对LTCC基板样品进行初步检测;对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试,并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区 |