发明名称 一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置
摘要 本发明公开了一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法和装置,该方法包括对LTCC基板样品进行初步检测;对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试,并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。该方法和装置对内嵌微流道的LTCC基板进行了低温贮存、高温贮存、温度循环等系列环境科目测试,检测内嵌微流道LTCC基板的质量无损和结构完整性,得出其在地面模拟使用环境中是否可靠的定性结论。
申请公布号 CN106370958A 申请公布日期 2017.02.01
申请号 CN201610934313.3 申请日期 2016.10.25
申请人 北京大学深圳研究生院 发明人 刘念;缪旻;金玉丰
分类号 G01R31/00(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G01N29/06(2006.01)I 主分类号 G01R31/00(2006.01)I
代理机构 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人 郭燕
主权项 一种内嵌微流道的LTCC基板测试方法,其特征在于,所述方法包括:对LTCC基板样品进行初步检测;对通过初步检测的LTCC基板样品分别进行低温贮存测试、高温贮存测试和高低温循环测试,并对每次测试后的LTCC基板样品进行检测。
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区
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