用于电泳制程的提篮

摘要

用于电泳制程的提篮。涉及晶圆加工领域，尤其涉及用于电泳制程的提篮。提供了一种结构简单，便于空气流通，方便干燥的用于电泳制程的提篮。所述立板一和立板二之间的底部设有一对对称设置的不锈钢撑杆一，所述撑杆一的内侧面设有若干锯齿槽一，所述锯齿槽一呈三角形，一对撑杆一上对应的锯齿槽一用与放置晶圆，使得相邻晶圆之间的间距为0.5‑1.5cm；所述撑杆一和水平面之间的夹角为30‑60°。还包括不锈钢撑杆二，所述撑杆二位于立板一和立板二之间的上部，所述撑杆二的内侧设有锯齿槽二，所述锯齿槽一与锯齿二一一对应。本实用新型方便加工，节省了成本。

主权项

用于电泳制程的提篮，其特征在于，包括一对平行设置的不锈钢立板一和不锈钢立板二，所述立板一和立板二之间的底部设有一对对称设置的不锈钢撑杆一，所述撑杆一的内侧面设有若干锯齿槽一，所述锯齿槽一呈三角形，一对撑杆一上对应的锯齿槽一用与放置晶圆，使得相邻晶圆之间的间距为0.5‑1.5cm；所述撑杆一和水平面之间的夹角为30‑60°。