| 摘要 |
본 발명은 기포를 제거하는 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 내부에 액이 흐르는 공간을 가지는 바디와 상기 바디에 액을 공급하는 액 유입관과 상기 바디에서 기포가 제거된 액이 유출되는 액 유출관과 상기 내부 공간으로부터 기포를 외부로 배출하는 기포 배출관과 그리고 상기 내부 공간에 위치하며 그 길이 방향이 상기 바디의 길이 방향으로 제공되고 로드 형상을 가지는 바를 포함하되 상기 바디의 내부 공간에는 상기 액 유입관과 상기 액 유출관 사이에 위치하며 상기 바디의 길이방향을 따라 횡단면이 변경되는 변경부가 제공되는 기포 제거 유닛을 포함한다. |
