| 发明名称 |
Micromechanical ion-sorption vacuum pump |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL224633(B1) |
申请公布日期 |
2017.01.31 |
| 申请号 |
PL20140408322 |
申请日期 |
2014.05.26 |
| 申请人 |
POLITECHNIKA WROCŁAWSKA |
发明人 |
GRZEBYK TOMASZ;GÓRECKA-DRZAZGA ANNA;DZIUBAN JAN |
| 分类号 |
F04B37/02;F04B37/14;H01J41/12 |
主分类号 |
F04B37/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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