摘要 |
【課題】 駆動時におけるHCGの形状変化を抑えた面発光レーザを提供する。【解決手段】 第1の梁110と、第1の梁110に形成された開口部130に配置された第2の反射鏡116と、開口部130内に第1の梁110の短手方向に延びて、第2の反射鏡116と第1の梁110とを接続する第2の梁114と、第1の梁110の上に配置された電極112と、を有し、第2の梁114の第1の梁110の長手方向の長さは、第2の反射鏡116の第1の梁110の長手方向の長さよりも小さく、第2の反射鏡116は、電極112と電気的に接続されていない。【選択図】 図1 |