光学装置及び光照射装置

摘要

【課題】光学部材同士が高精度で位置合わせされた光学装置を提供する。【解決手段】本光学装置は、複数の第１の光学素子を有する第１の光学部材と、前記第１の光学部材と接合された、複数の第２の光学素子を有する第２の光学部材と、を有し、前記第１の光学部材は、前記第１の光学素子の一部をなす第１の嵌合部を備え、前記第２の光学部材は、前記第１の嵌合部と対向する面に、複数の前記第２の光学素子により構成された第２の嵌合部を備え、前記第１の嵌合部と前記第２の嵌合部とが介在部材を介して嵌合する。【選択図】図６