| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Modifizieren des Deformationsverhaltens eines deformierbaren Spiegels, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Ermitteln eines zu erwartenden Deformationsverhaltens des Spiegels, welches die lineare Ausdehnung der piezoelektrischen Schicht (16) entlang der Flächennormalen zur optischen Wirkfläche (11) bei Beaufschlagung der erste Elektrodenanordnung (20) und/oder der zweiten Elektrodenanordnung (14) mit einer vorgegebenen Spannungsverteilung als Produkt aus dem betreffenden linearen Ausdehnungskoeffizienten d33(x, y) der piezoelektrischen Schicht (16) mit dem jeweiligen Wert der elektrischen Spannung U(x, y) angibt, und Modifizieren dieses Deformationsverhaltens derart, dass eine Abweichung des zu erwartenden Deformationsverhaltens von einem Soll-Deformationsverhalten, welches sich für einen örtlich homogenen Verlauf des linearen Ausdehnungskoeffizienten ergibt, wenigstens teilweise reduziert wird. |
