ランタン化合物及びその製造方法、ランタン前駆体組成物、並びにそれを利用した薄膜形成方法、及び集積回路素子の製造方法

摘要

【課題】ランタン化合物、その製造方法及びランタン前駆体組成物、それを利用した薄膜形成方法、並びに集積回路素子の製造方法を提供する。【解決手段】ランタントリス（ビス（トリアルキルシリル）アミド）錯体と、アルキルシクロペンタジエンとを反応させてＳｉ含有中間体を形成し、Ｓｉ含有中間体とジアルキルアミジン系化合物とを反応させてランタン化合物を形成する。【選択図】 図１