振動体の駆動装置、およびそれを用いた振動型アクチュエータ、撮像装置

摘要

【課題】 振動型アクチュエータを目標位置に停止する際に発生するオーバーシュートを低減し、高い精度で目標位置に停止することのできる振動型アクチュエータの駆動装置を提供する。【解決手段】 振動型アクチュエータを最終目標位置に停止する際に、逐次決まる指令位置と、振動体と被駆動体の相対位置と、から求まる第一の偏差に応じて圧電素子に入力する交流信号の駆動周波数や位相差を設定すると共に、最終目標位置と前記相対位置から求まる第二の偏差に応じてパルスデューティを調整する。【選択図】 図２