レーザ装置及び極端紫外光生成装置

摘要

パルスレーザ光を出射するマスターオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置された前記パルスレーザ光を増幅する２以上の増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上における隣り合う前記増幅器の間に配置され、前記増幅器から前記マスターオシレータが設けられている側に進行する光の透過を抑制する光アイソレータと、を備えてもよい。