| 摘要 |
弾性表面波素子などの検出素子を用いつつ、吸引機構を備えたセンサ装置を提供するために、第１カバー部材と、前記第１カバー部材の上面に位置している素子基板、および前記素子基板の上面に位置しており且つ検体の検出を行なう検出部を有する検出素子と、前記第１カバー部材の前記上面に位置しており且つ前記検出素子に電気的に接続されている端子と、前記第１カバー部材の前記上面に前記検出素子と間隙を介して位置している中間カバー部材と、前記検出素子と前記中間カバー部材との前記間隙に位置している充填部材と、前記検出素子の少なくとも一部を覆うとともに、前記第１カバー部材および前記中間カバー部材の少なくとも一方に接合されている第２カバー部材と、検体が流入する流入口と、前記流入口に連続しており且つ前記中間カバー部材と前記第２カバー部材とで囲まれて少なくとも前記検出部まで延びている流路と、を備えた構成とする。 |
