| 摘要 |
【課題】 ポリシランなどの粉体や膜片によるスロー排気の経路における詰まりを抑制し、低コストで稼働率を低下させにくい堆積膜形成方法を提供する。【解決手段】 排気減圧手段が反応容器と真空ポンプとを連通させる主排気経路を有し、主排気経路が第一の開閉バルブを有し、排気減圧手段が反応容器と第一の開閉バルブとの間において主排気経路から分岐し反応容器と真空ポンプを連通させる第二の排気経路を有し、第二の排気経路が第二の開閉バルブを有し、堆積膜形成工程においては、第一の開閉バルブを開き第二の開閉バルブを閉め主排気経路を介してのみ反応容器の内部の排気を行い、クリーニング工程の少なくとも一部において、第一の開閉バルブと第二の開閉バルブを開き主排気経路と第二の排気経路の両方を介して排気を行うか、第一の開閉バルブを閉め第二の開閉バルブを開き第二の排気経路を介してのみ排気を行う。【選択図】 図２ |
