| 发明名称 |
大気圧未満の圧力でロータとコレクタとの間に電気的接続を有する回転可能なターゲットのエンドブロック |
| 摘要 |
回転可能なマグネトロンスパッタリングターゲットのような回転可能なスパッタリングターゲット１のエンドブロック４が提供される。１つ以上のこのようなエンドブロックを含むスパッタリング装置は、（大気圧の領域９と別に）真空下の領域８内でエンドブロックにおいてコレクタ２０とロータ２２との間に電気的接点（例えば、ブラシ）１８を配置する工程を含む。【選択図】図２ |
| 申请公布号 |
JP2017503080(A) |
申请公布日期 |
2017.01.26 |
| 申请号 |
JP20160546486 |
申请日期 |
2014.12.30 |
| 申请人 |
サントル・ルクセンブルジョワ・ドゥ・ルシェルシュ・プール・ル・ベール・エ・ラ・セラミック（シーアールブイシー）エスエイアールエルＣｅｎｔｒｅ Ｌｕｘｅｍｂｏｕｒｇｅｏｉｓ ｄｅ Ｒｅｃｈｅｒｃｈｅｓ ｐｏｕｒ ｌｅ Ｖｅｒｒｅ ｅｔ ｌａ Ｃｅｒａｍｉｑｕｅ （Ｃ．Ｒ．Ｖ．Ｃ．） ＳＡＲＬ |
发明人 |
ガラン・ジルベール;ユセルディング・ジャン−フィリップ;コマン・ギー;シュローレンベルグ・マルセル |
| 分类号 |
C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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