共振型圧力センサ

摘要

【課題】地熱発電設備、工業用ガスタービンおよび航空機のジェットエンジン等の、雰囲気温度が４００℃以上となるような高温環境下においても圧力を精度よく検出できるようにするために、共振型圧力センサの耐熱性を向上させつつ、耐久性を向上させる。【解決手段】圧力に応じて共振周波数が変化する振動子を有するセンサ素子と、圧力をセンサ素子に伝達する圧力伝達部と、を備える共振型圧力センサであって、振動子は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）を含む材料により形成されることを特徴とする。【選択図】図１