摘要 |
【課題】ロータ軸とロータとの間に隙間のない安定な締結を得るのに好適な真空ポンプとそのロータ及びロータ軸を提供する。【解決手段】ロータ軸5に対して締結したロータ6がそのロータ軸5の軸心周りに回転することでガスを吸気し排気する真空ポンプにおいて、ロータ軸5とロータ6との締結部を構成する締結面SFは、ロータ軸5またはロータ6の温度が変化した時に、半径方向の寸法変化が軸方向の寸法変化を補償するように若しくは軸方向の寸法変化が半径方向の寸法変化を補償するように傾斜したテーパ形状または曲線形状、もしくは該テーパ形状または該曲線形状を含む面になっている。【選択図】図2 |