| 摘要 |
【課題】センサの測定結果がリソグラフィ装置内の温度変化によって影響を受ける又は損なわれることが可能な限りほとんどないセンサを含むリソグラフィ装置を提供すること。【解決手段】リソグラフィ装置は、構造要素と、構造要素に対する少なくとも１つの検出方向の物理量を検出するための検出領域（２２５）を有するセンサ（２２０）と、センサ（２２０）を構造要素に装着するためのセンサレセプタクル（２１０）とを含み、センサ（２２０）は、構造要素（１４０）に対する検出方向の検出領域（２２５，２５５）の最大変位が、それに対して直交してセンサ（２２０，２５０）が配置された場合の検出方向の検出領域（２２５，２５５）の最大変位よりも大きくないように配置される。【選択図】図３ |
