| 摘要 |
【課題】 被計測物と撮像部の相対位置が変化する場合においても、被計測物の表面の面粗さによる計測誤差を低減して、被計測物の形状を計測すること。【解決手段】 被計測物の形状を計測する計測装置であって、パターン光を被計測物に投影する投影光学系と、被計測物を照明する照明部と、投影光学系によりパターン光が投影された被計測物を撮像して、被計測物で反射されたパターン光による被計測物の第１画像を取得する撮像部と、第１画像に基づいて被計測物の形状の情報を求める処理部と、を有し、照明部は、投影光学系の光軸周りに配置され、投影光学系の光軸に対して対称に配置された複数の発光部を有し、処理部は、複数の発光部により照明された被計測物を撮像部で撮像して得られる、被計測物で反射された複数の発光部からの光による被計測物の第２画像、を用いて第１画像を補正し、補正された画像に基づいて被計測物の形状の情報を求める。【選択図】 図１ |
