印刷ギャップの制御のための装置および方法

摘要

【課題】印刷ヘッドの転写面と材料が印刷される基材との間のギャップを緊密に制御するガス支持システムを備える薄膜印刷装置および方法を提供する。【解決手段】ガス支持システム２０は、１以上の印刷モジュールパッケージ３２を収容し、有機発光素子（ＯＬＥＤ）の製造等のインクジェットおよび／または熱印刷を備え、加圧ガスおよび真空のうちの１つ以上を用い、酸素敏感用途のために、窒素ガス等の不活性ガスを、加圧ガスとし、ガス支持システム３２の第１、第２の流体チャネル４８、５０および第１、２の開口４４、４６は、サイズおよび相互に対する相対位置の観点から、変更でき、第１、第２の流体チャネル４８、５０および第１、２の開口４４、４６は、１つ以上のマニホールドと、加圧ガスおよび／または真空の源とのグループおよび対で構成される。【選択図】図１