기판 처리에서 이용하기 위한 프리커서의 열 관리를 위한 장치가 여기에 제공된다. 일부 실시예들에서, 기판 처리에서 이용하기 위한 프리커서의 열 관리를 위한 장치는, 액체 또는 고체 프리커서가 내부에 배치되어 있는 저장 컨테이너를 수용하기 위한 크기의 개구를 갖는 바디 - 바디는 열 전도성 재료로 제조됨 - ; 개구 부근에서 바디에 연결된 하나 이상의 열전기 디바이스; 및 하나 이상의 열전기 디바이스에 연결된 히트 싱크를 포함할 수 있다.
申请公布号
KR101700494(B1)
申请公布日期
2017.01.26
申请号
KR20147036453
申请日期
2013.06.05
申请人
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人
칼슨, 데이비드 케이.;산체스, 에롤 안토니오 씨.;최, 켄릭;조셉슨, 마르셀 이.;데마르스, 데니스;쿠발키, 엠레;사미르, 메흐메트 투그룰
