| 摘要 |
【課題】物理量の検知精度に優れる物理量センサー、物理量センサー装置、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】物理量センサー１は、ベース基板２と、ベース基板２に接合された素子片４と、を有する。また、素子片４は、ベース基板２に固定されている固定部４８１、４９１と、固定部４８１に支持された第１固定電極指４８３と、固定部４９１に支持された第２固定電極指４９３と、固定部４８１、４９１の間に位置し、ベース基板２に固定された固定部４１と、固定部４１に対して変位可能な可動部４２と、固定部４１と可動部４２とを連結する弾性部４３と、可動部４２に支持され、第１固定電極指４８３と対向して配置されている第１可動電極指４２３と、可動部４２に支持され、第２固定電極指４９３と対向して配置されている第２可動電極指４２４と、を有する。【選択図】図１ |
