インプリント用モールド、および、その離型処理方法

摘要

【課題】スピンコート法によりムラなく離型剤をコートすることが可能なインプリント用モールド、および、そのモールドの離型処理方法を提供する。【解決手段】基板の表面に微細パターンを有するインプリント用モールド４００は、メインパターン形成領域２０１と、メインパターン形成領域２０１の周辺部に、メインパターン形成領域２０１と一定の距離をおいて囲むように連続的に形成された補助パターン形成領域３０１とを有する。【選択図】図１