| 摘要 |
【課題】タングステン材料に対する良好な研磨速度を維持しながら、タングステン材料のエッチング速度を抑制できると共に、エロージョンを低減できる研磨剤を提供する。【解決手段】砥粒と、ケイモリブデン酸化合物と、（メタ）アクリル酸系重合体と、を含有し、砥粒が、コロイダルシリカを含むことが好ましく、高い研磨速度を保ちつつ研磨傷を低減させることができ、研磨剤のｐＨは、１．０〜６．０であることが更に好ましく、タングステン材料を更に高い研磨速度で研磨できると共に、砥粒が溶解し研磨剤の液状安定性が低下することを抑制することができるタングステン材料３用の研磨剤。【選択図】図１ |
