| 摘要 |
【課題】液体吐出ヘッドを注型法で製造する際に、凹凸のある基板上に平滑な樹脂層を形成する方法を提供する。【解決手段】凹凸のある基板１上に形成された樹脂層８に対し、複数の開口１０ａを備えるマスク１０を樹脂層８の上位に配置し、その状態で樹脂層８を露光および現像して、平滑化のために必要とされる圧力が左右でほぼ等しくなるように、左領域に存在する凹部の体積に準じた開口パターン１１が右領域に形成され、樹脂層において凹凸が一様に分布するように、開口パターン１１を形成した後、平滑面を有するモールド９を、感光性樹脂層８の表面全域に対し均一な力が作用するように、右領域で開口パターン１１が充填される程度の圧力で感光性樹脂層８の表面にモールド９を押し当てることにより、樹脂層８の表面を平滑化する。【選択図】図４ |
