| 发明名称 |
砥粒、研磨具、及び、砥粒の製造方法 |
| 摘要 |
【課題】加工能率を向上させることが可能な砥粒、研磨具、及び、砥粒の製造方法を提供する。【解決手段】三次粒子４としての砥粒は、微細な一次粒子１が結合材を介さずに結合して形成された二次粒子２が結合材３により更に結合して形成されるものである。この砥粒においては、一次粒子１同士の結合力が、二次粒子２と結合材３の結合力よりも弱いため、研磨時に砥粒が二次粒子２単位で研磨具７から脱落することがなく、砥粒の平坦摩耗状態を維持できる。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2017020018(A) |
申请公布日期 |
2017.01.26 |
| 申请号 |
JP20160137985 |
申请日期 |
2016.07.12 |
| 申请人 |
株式会社リコー |
发明人 |
菊田 航;張 軍;沢田 清孝;橋谷田 剛;増尾 英和;星野 祐太朗;田中 竜也;▲高▼橋 富廣 |
| 分类号 |
C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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