圧力センサの構造と、圧力センサを有する装置

摘要

【課題】本発明は、真空発生装置等における圧力センサの構造に関し、従来の圧力センサの構造では、サージ圧によってセンサの感圧部が破壊されるおそれがあることが課題であって、それを解決することである。【解決手段】流体の流路に設けられる圧力センサの構造において、前記流路の内部空間から前記圧力センサの流入口に至る流路には、その流路の少なくとも一部に、空気の圧力上昇を緩和させる螺旋状の流路４が形成されている圧力センサ５の構造とするものである。【選択図】図１