センサにおける改善

摘要

【課題】金属ターゲットの微細構造を監視する装置及び電磁センサを較正する装置を提供する。【解決手段】金属ターゲットの微細構造を検出する電磁センサ４２０であって、励磁磁界を与える磁気デバイス４１０、４２０と、金属ターゲット内に誘導された、結果として生成された磁界を検出する磁力計４３０と、電磁センサを較正する較正磁界を生成する較正回路４５０であって、較正基準磁界は、励磁磁界によって較正回路４５０内に誘導された電流によって生成される、較正回路４５０と、を備える電磁センサ４２０を提供する。【選択図】図４