| 摘要 |
【課題】ダイアフラムの熱膨張による誤差を抑制することができる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサは、筒状の筐体３０と、筐体３０の先端側に接合され受圧した圧力に応じて撓むダイアフラム４２と、筐体３０内に配置され圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部５０と、ダイアフラム４２とセンサ部５０とを接続する接続部と、を備える。接続部は、先端側の端部が開口し、後端側の端部が閉口した、軸線の方向に延びる中空ロッド９０を含む。ダイアフラム４２は、中空ロッド９０のうち中空な第１部分９１に接続されている。センサ部５０は、中空ロッドのうち第１部分９１よりも後端側の第２部分９２に接続されている。【選択図】図２ |
